1. 高纯硅是信息产业最基础的原材料,制备高纯硅的主要生产过程如下:

则制备高纯硅的反应原理:SiHCl3(纯)+H2Si+3X,则X的化学式为

【考点】
质量守恒定律及其应用;
【答案】

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