发生的主要反应
电弧炉
SiO2+2C Si+2CO↑
流化床反器
Si+3HCl SiHCl3+H2
还原炉
SiHCl3+H2 Si+3HCl
①用石英砂和焦炭在电弧炉中高温加热也可以生产碳化硅,该反应的化学方程式为;碳化硅又称,其晶体结构与相似.
②在流化床反应的产物中,SiHCl3大约占85%,还有SiCl4、SiH2Cl2、SiH3Cl等,有关物质的沸点数据如下表,提纯SiHCl3的主要工艺操作依次是沉降、冷凝和.
物质
Si
SiCl4
SiHCl3
SiH2Cl2
SiH3Cl
HCl
SiH4
沸点/℃
2355
57.6
31.8
8.2
﹣30.4
﹣84.9
﹣111.9
③SiHCl3极易水解,其完全水解的产物为.
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