1.
硅(Si)是一种重要的半导体材料，应用范围很广。三氯甲硅烷(SiHCl3)还原法是当前制备高纯硅(Si)的主要方法，生产过程如图所示：
(1)
硅属于(填“金属”或“非金属”)元素：
(2)
写出上述流程中一种氧化物的化学式。该氧化物正价元素的化合价为。
(3)
三氯甲硅烷(SiHCl3)是由种元素组成的物质；各原子的个数比为。
(4)
上述流程中④反应的文字(符号)表达式为；如果反应④中混入O2 ， 可能引起的后果是。
(5)
该流程中可以循环利用的物质的化学式是。
【考点】
化学式的书写及意义;
有关元素化合价的计算;
碳的化学性质;
氢气的化学性质与燃烧实验;