1.
芯片制造是人类工业文明的集大成,共有六个最为关键的步骤:沉积、光刻胶涂覆、光刻、刻蚀、离子注入和封装。
(1)
“沉积”是将导体、绝缘体或半导体材料薄膜沉积到纯硅晶圆上。GaN、GaAs是制造芯片的新型半导体材料。①GaN、GaAs的结构类似于金刚石,预测其熔点GaNGaAs(填“>”或“<”)。
②GaAs被誉为“半导体贵族”,其晶胞结构如图所示,晶胞参数为a pm。2号原子的分数坐标为;1号原子和2号原子之间的距离为pm。
![](http://tikupic.21cnjy.com/ct20241o/02/82/02822fee1cc1b462a75462df2020e7c4.png)
(2)
“光刻胶涂覆”时,用到的某光刻胶由降冰片烯(
)和马来酸酐(
)按物质的量1∶1加聚反应而成,该光刻胶的结构简式为。
(3)
“光刻”是使用深紫外光来照射涂有光刻胶的基片表面,通过曝光和显影过程,将掩膜上的图形复制到光刻胶上。①紫外负型光刻胶常含有—
, 曝光时会形成
,
的VSEPR模型为。
②光刻技术需要利用深紫外激光,我国是唯一掌握通过非线性光学晶体变频来获得深紫外激光技术的国家。目前唯一实用化的晶体是氟代硼铍酸钾晶体KBBF(
),晶胞如图所示,其中钾原子已经给出,氧原子略去。已知晶胞参数分别为a nm和c nm,
, 图中代表氟原子的字母为。已知晶体的密度为
, KBBF的摩尔质量为
, 则阿伏加德罗常数的值为(用含上述字母的代数式表示)。
![](http://tikupic.21cnjy.com/ct20241o/2f/0f/2f0fb91d8961e3fe422f95249e9ea9ec.png)
(4)
“刻蚀”可能用到刻蚀剂氟硼酸铵(
),1 mol
中含有的配位键数目为(设
为阿伏加德罗常数的值)。
(5)
“离子注入”是在Si晶体中掺杂不同种类的元素(常见的有B、P、Ga、As等),形成多电子的n型和缺电子的p型半导体(如下图所示)。![](http://tikupic.21cnjy.com/ct20241o/09/2d/092dc8a4e42646252574155449326f29.png)
则上图中M、N原子分别可以选择(填序号)
a.B、Ga b.P、As c.P、B d.Ga、As
(6)
“封装”时,为了散热,常用金属外壳,用电子气理论解释金属导热性好的原因。
【考点】
离子晶体;
晶胞的计算;
原子轨道杂化方式及杂化类型判断;