中国芯片蚀刻技术国际领先。NF3进行硅芯片蚀刻时的产物均为气体,在蚀刻物表面不留任何残留物。该反应化学方程式为:
请按要求回答下列各题。
②该反应的基本反应类型为。
①空间站若用电解水的方法来提供氧气,请写出电解水的化学方程式。实验室电解水时,检验氧气的方法是。
②如图是我国空间站准备建立的水气整合系统,其中“氧气生成系统”的原理是电解水,通过“萨巴蒂尔系统”用氢气处理航天员排出的CO2 , ( , 条件省略),液态水可循环利用,甲烷则排入太空。若该空间站所需氧气的一半由该水气整合系统提供,则理论上“水气整合系统”要补充水的质量为kg。