1. 超纯氢氟酸主要用作芯片材料清洗和蚀刻。回答下列问题:
(1) 氢氟酸可保存在聚四氟乙烯容器中,聚四氟乙烯的结构简式为
(2) 工业氢氟酸生产超纯氢氟酸时,需经除杂质(AsF3)、气化、洗涤等步骤。

①除去AsF3的反应为4AsF3+4KMnO4=4MnO4+2As2O5+4KF+3O2↑,该反应的氧化产物为

②CoF3可与H2O反应生成HF,该反应的化学方程式为(CoF3还原为CoF2)

③在无水氟化氢汽化时,可向发生装置中掺入含有F2 , NF3和OF2中的一种或多种的含氟气体,以氧化杂质。NF3的电子式为;OF2中氧元素的化合价为,OF2可由F2与稀NaOH溶液反应制取,该反应的离子方程式为

【考点】
氧化还原反应; 结构简式; 电子式、化学式或化学符号及名称的综合;
【答案】

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